石英玻璃喷镀部件及其制造方法

在成膜装置、等离子体处理装置等中使用的部件，特别是使用石英玻璃的部件，存在着附着在部件上的附着膜脱落造成的装置内的颗粒污染的问题、该部件与其他部件接合性不良造成的气密性降低的问题、以及部件的隔热性不良造成的热效率低的问题。本发明提供一种石英玻璃喷镀部件，是在基材上形成石英玻璃喷镀膜的部件，可提高附着膜的保持性，提高与其他部件的接合面的气密性，而且，通过将黑色石英玻璃作为包覆原料使用，可提高部件的隔热性。这些部件即使酸洗，上述性能也不会降低，可长期使用，寿命长。